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　　真空鍍膜設備的一個重要組成部分是采用擴散泵抽真空，大部分都是大型設備，所以相對來說成本會比較高，因此，大多數(shù)企業(yè)都會注意擴散泵的維護和保養(yǎng)。下面小編為大家詳細介紹一下擴散泵的保養(yǎng)和保養(yǎng)方法：
　　1、擴散泵的冷卻水在工作過程中要平穩(wěn)，停止加熱后，待泵工作液完全冷卻后再關閉冷卻水。
　　2、擴散泵停止工作時，應保持泵處于真空狀態(tài)，以免泵油變質(zhì)。
　　3、被泵送的氣體應是干燥、無腐蝕性、無粉塵的氣體。
　　4、如果真空鍍膜設備的擴散泵暫時不使用，儲存時應保持真空狀態(tài)，以免泵油污染和腐蝕各部件，并將冷卻水套的剩余水吹干凈。將室溫保持在10至40攝氏度之間。
　　5、擴散泵性能在長期工作后會逐漸惡化，應定期檢查。如：泵油是否被還原或氧化，按相應要求進行加油或替換處理；零件及泵腔先用汽油清洗，然后用丙酮擦洗，在80-100攝氏度下烘干或用吹風機吹干。加工后，依次組裝，保持泵芯與泵底垂直，泵腔同心，各級噴嘴間隙應按原要求調(diào)整。
　　6、待水揮發(fā)干燥后，安裝泵芯，添加新的擴散泵油，并安裝回機體，連接水管，安裝爐板，就可以重新啟動。
　　7、在重新開啟真空鍍膜設備之前，要注意檢漏。方法：啟動維修泵，關好門，幾分鐘后，觀察真空度，并檢查連接處密封膠圈是否泄漏，或密封圈是否斷裂。隱藏的漏氣可以在減少前加熱，否則擴散泵油燒壞不能進入工作狀態(tài)。